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氦质谱检漏仪

A530氦质谱检漏仪

A530氦质谱检漏仪

详细介绍

A530 描述

A530 移动式氦质谱检漏仪(Helium Mass Spectrometer Leak Detector),是一款大抽速(前级泵抽速30 m3/h),低维护、高灵敏度、操作便捷的干泵检漏仪。A530 氦质谱检漏仪轻松检漏,使您放心得到快速准确可靠的测试结果。产品广泛应用于科研院所、航空航天、半导体、半导体气柜,光伏等行业。


功能特点

大抽速前级泵,工作效率高

支持正压检漏,负压检漏

优化设计的质谱系统和智能算法确保在所有量程快速响应

自动跟踪本底功能,提供快速可靠的测量结果

高可靠性的真空系统和质谱系统确保快速清氦

机器卓越的性能支持7*24 小时长时间在线测试

双铱丝离子源,系统设计有效的防大气冲击功能

配有检漏口精细过滤器,过滤细微杂质,确保机器不受杂质影响和损伤

支持氮气破空,不受环境氦气干扰,快速降低本底有可便捷更换过滤器


技术参数

Z小可检漏率(负压模式)            5×10-13Pa•m3/s 

Z小可检漏率(正压模式)            5×10-9Pa•m3/s

检漏口压强     ;      粗检        1500Pa

                  中检        200Pa

                  精检        40Pa

响应时间                       <0.5s

启动时间                   ;    ≤2min

前级油泵抽速                     30m3/h(8.3L/s)  

外形尺寸(W×D×H)                780×420×1100

重量                          110Kg




常见泄漏率

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检漏方法示意图

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相关标签: 氦质谱检漏仪,检漏仪,HeliumMassSpectrometerLeakDetector

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